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400-8686-737

EDP系列 低壓隔膜閥

? 適用于超高純氣體、特殊氣體

? 極少顆粒產(chǎn)生

? 密封性好

? 耐腐蝕性強(qiáng)

? 閥體材料：316L、316L VAR、316L VIM-VAR 符合 SEMI F20

? 本體尺寸：1/4"-1/2"

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產(chǎn)品參數(shù)

• 工作壓力：145psig ( 10bar )

• 工作溫度：-10-80℃ ( 14-176℉ )

• 驅(qū)動壓力：60-90psig ( 6-8bar )

• 膜片材料：鎳鈷合金

• 本體尺寸：1/4"-1/2"

• 連接方式：卡套、可旋轉(zhuǎn)ECR內(nèi)外螺紋、焊接、公頭ECR

• 閥體材料：316L、316L VAR、316L VIM-VAR 符合 SEMI F20

• 密封材料：PCTFE、Vespel® 、PFA

• 閥體泄漏率(向內(nèi)泄露)：1.0x10-10 Pa·m3/s 以下

• 閥體泄漏率(向外泄露)：1.0x10-10 Pa·m3/s 以下

• 循環(huán)壽命：400W次以上

• 閥門內(nèi)部流道：電解拋光處理 Ra≤0.13μm、Ra≤0.25μm